真空干燥機的物品如真空干燥機機后改變為重量輕，體積小(為小顆粒狀)，應在工作室內抽真空口加隔阻網，以防真空干燥機機物吸入而損壞真空泵(或電磁閥)。　　

真空干燥機經多次使用后，會產生不能抽真空的現象，此時應更換門封條或調整箱體上的門扣伸出距離來解決。當真空箱真空干燥機機溫度高于200℃時，會產生慢漏氣現象(除6050、6050B、6051、6053外)，此時拆開箱體真空干燥機機背后蓋板用內六角扳手擰松加熱器底座，調換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。　　

放氣閥橡皮塞若旋轉困難，可在內涂上適量油脂潤滑。(如凡士林)　　

除維修外，不能拆開左側箱體蓋(6090及6210型除外)以免損壞電器控制系統。　　

真空干燥機應經常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭，應用松軟棉布擦拭。　　

若真空干燥機長期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于真空干燥機的室內，以免電器元件受潮損壞，影響使用。